SEMI認證的各類安全標準

SEMI標準簡介：

SEMI(半導體設備與材料的國際性組織)是半導體工業的全球執行聯盟，SEMI之下的安全工作小組為了降低機械危害的風險，制定了一套適用于半導及顯示器材料和制造設備的全球性標準和法規，適用于所有用于芯片制造、量測、組裝和測試的設備,成為半導體業界對設備系統的必備的規格要求。

SEMI S2認證和遵守法規的途徑：

對于制造商而言，SEMI安全的核心是S2，即《半導體制造設備的環境，健康和安全指南》。

實際上，其他產品安全準則可以視為支持S2。面向職業健康和安全的指南通常與制造商無關。

SEMI S2認證指南是由SEMI行業的領導者制定的，以確保每臺設備都符合法規要求，并經過嚴格的安全標準檢查。主要包括消防，電氣危險防護，減輕機械危險，化學，輻射，噪聲和人體工程學危險，通風要求，緊急停機程序，排氣規格，危險警告警報和標簽，文件要求等。

S2評估通常是買家作為保障的要求，并且可以作為出售的條件。

SEMI常見安全標準：

SEMI標準中有材料（M系列）、設備（F系列）、平板顯示器（D系列）、跟蹤性（T系列）等，其中S系列規定了環境健康安全（EHS）的要求。

SEMI S1 裝置安全標簽   Safety Guideline for Visual Hazard Alerts

SEMI S2 半導體生產裝置的環境、健康、安全Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S3 熱化學槽的安全性 Safety Guidelines for Heated Chemical Baths

SEMI S4 櫥柜收納高壓氣筒的隔離／分離Safety Guideline for the Segregation/ Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets

SEMI S5 流量限制設備Safety Guideline for Flow Limiting Devices

SEMI S6 換氣Safety Guideline for Ventilation

SEMI S7 半導體生產裝置的環境、健康、及安全性（ESH）評價Safety Guidelines for Environmental,Safety and Health Evaluation of Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S8 半導體生產裝置的人機工程學Safety Guidelines for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S9  半導體生產裝置的電氣設計驗證試驗Electrical Test Methods for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S10 風險核查Safety Guideline for Risk Assessment

SEMI S11 半導體生產裝置的小環境的環境、安全性及健康Environmental, Safety, and Health Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment Minienvironments

SEMI S12 裝置的去污Guidelines for Equipment Decontamination

SEMI S13 半導體生產裝置的操作及維護手冊Safety Guidelines for Operation and Maintenance Manuals Used with Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S14 對半導體生產裝置的火災風險評估和降低Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S15 有毒及易燃氣體的檢測系統評價Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems

SEMI F47 電壓瞬變能力規范 Voltage Sag Standard

SEMI認證辦理：

沃證（VIACERT）SEMI專家團隊可以幫助企業高效地解決半導體設備的安全問題，助力半導體企業滿足最新的SEMI評估要求并取得SEMI認可報告，順利打開半導體市場。